정화된 라미너 흐름 커버는 지역적으로 깨끗한 환경을 제공 할 수 있는 공기 정화 단위입니다. 높은 청결성을 요구하는 공정 지점 위에 유연하게 설치할 수 있습니다.
Introduction detail:
Purified laminar flow cover is an air purification unit that provides a local clean environment. It can be flexibly installed above the process point where high cleanliness is required. It can be used alone or in combination to form a strip-shaped clean area.Purified laminar flow cover passes the air through a high-efficiency filter at a certain wind speed to form a uniform flow layer, so that the clean air is vertically unidirectional, thereby ensuring the cleanliness of the process area.
Features:
●The cabinet is made of high quality SUS304 stainless steel, which is easy to clean;
● Top air supply, high efficiency filter efficiency ≥99.99%@0.3um, the operating area purification level is higher than the room cleanliness;
● The inverter adjusts the wind speed ; the button controls the lighting and power.
매개 변수:
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Technical reference |
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재료 |
Stainless steel panel |
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Features |
Hanging type landing support type |
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Applications |
Precision Machinery, Electronics, Pharmaceuticals, Food, Fine Chemicals Usage, purification |
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사용법 |
purification |
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Average wind speed |
0.25-0.45m/s (adjustable) |
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소음 |
≤62dB(A) |
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Power supply |
220V 50HZ의 |
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Certification |
ISO9001:2008;SGS는 |
예—그들은’점점 더 선호됩니다. & nbsp; 제약 클린룸 패널 그리고 제약 클린룸 천장 시스템은 낮은 방출 가스, 표면 부드러움 및 청소성에 대한 반도체 요구 사항을 충족하거나 초과합니다.그들의 인증된 VOC 프로필, ESD 준수 마무리 및 가스켓 구조는 EUV 도구 EUV EUV 공구 그들EUV 공구 그들EUV 공구 이이이클로저와 측정 베이에 이상적입니다.공급자가 SEMI 표준에 대한 성능을 검증하도록 확인하십시오.ISO 또는 USP 뿐만 아니라 <797>.
ASML은 지역화된 ISO 클래스 3 (이전 Fed-Std-209E 용어에서 클래스 100 클린룸과 동등한) 조건을 스캐너 주변에 직접 지정합니다.s 광학 열과 reticle 단계.주변 도구 서비스 영역은 일반적으로 ISO 클래스 4–를 요구합니다.일반적인 공장 베이는 ISO 클래스 7 (클래스 10000 클린 룸)에서 작동할 수 있습니다.완전한 준수는 구역화된 압력 카스케이드, 실시간 입자 모니터링 및 문 열기 후 20초 이하의 검증된 복구 시간을 필요로합니다.ISO 14644-3에 따라 확인.
적절한 공기 흐름 패턴을 설정하고 필요한 청결성 수준을 달성하기 위해 사용하기 전에 최소 20 분 동안 켜 실행하십시오.
작업 영역은 배경 영역에 비해 부정압 하에서 작동합니다.정적 청결성은 배경 영역 청결성과 같습니다.클래스 A 정적 청결성을 달성하기 위해 배배기 항구를 닫으십시오.
단방향 공기 흐름은 제품을 오염으로부터 보호합니다.표준 클린 라미너 흐름 후드는 벤치탑 작업을 위해 수직 또는 수평 흐름을 제공합니다. 클린룸 클린 라미너 흐름 후드 변형은 영구 역의 시설 설계에 직접 통합됩니다.유연한 요구를 위해 클린룸 이동 라미너 후드 차량은 다양한 작업 공간에서 이동성을 가능하게 합니다.이러한 단위는 입자 정착을 방지하기 위해 직접 작업 표면에 ISO 클래스 5 조건을 보장합니다.
분말을 처리하려면 운영자를 보호하기 위해 구축이 필요합니다. 클린룸 음압 무게실은 주변 지역보다 낮은 압력을 유지함으로써 먼지 탈출을 방지합니다.재료는 cleanroom Pass Box를 통해 영역 무결성을 유지합니다.일반 클린룸 장비는 이러한 구역에서 사용되는 청소제와 호환되어야합니다.안전 프로토콜은 무게와 분배 과정에서 위험한 물질이 유지되도록 보장합니다.
지역화된 보호는 전체 시설 비용을 줄입니다. cleanroom 지역 청소 장비는 특정 워크스테이션을 효과적으로 대상으로 합니다. Clean laminar flow hood는 개방된 프로세스를 통해 단방향 공기 흐름을 제공합니다.이동성을 위해 클린룸 이동 라미너 후드 차량은 유지 보수 또는 설치를 위해 임시 무생 조건이 필요한 깨끗한 공기 구역의 유연한 위치를 제공합니다.
모듈형 시스템은 유연성과 속도를 제공합니다. 클린룸 클린부스는 기존 시설 내에 쉽게 설치할 수 있습니다.공기흐름은 클린룸 클린 라미너 흐름 후드 메커니즘에 의해 구동됩니다.정기적인 필터 검사는 필수적입니다. Clean Booth 구조를 사용하면 작동에 필요한 설정된 공기 청결성 분류 수준을 손상시키지 않고 생산 라인을 신속하게 재구성할 수 있습니다.